[별표 8의 4] (2008.4.29. 신설)

신에너지 및 재생에너지를 생산하기 위한 시설을 제조하는 시설(제13조의 2 제2항 관련)

구 분	시설내용	적용범위
1. 태양광설비	가. 태양전지용 다결정 실리콘 제조설비	1. 삼염화실란 생산용 염화공정 장치 (Tri-chloro Silane Chlorinator Facilities) 2. 삼염화실란 정제 공정 장치 (Tri-chloro Silane Purifier Facilities) 3. 폴리실리콘 생산용 화학 증착 반응 장치 (Polysilicon Chemical Vapor Deposition Reactor Facilities) 4. 삼염화실란 폐가스 회수 장치 (Tri-chloro Silane Vent Gas Recycling Facilities)
	나. 태양광전지용 실리콘웨이퍼 제조설비	1. 단결정성장로(Grower) 2. 다결정성장로 (Multicrystalline Casting Furnace) 3. 크로핑소 (Cropping Saw) 4. 면연마기 (Rotary Grinding System) 5. 곡면 또는 평면용 면취기 (R/C Grinder, R/C Cutter) 6. 사각기 (Squaring Machine) 7. 와이어소 (Multi Wire Sawer) 8. 슬러리재생설비 (Slurry Recycling System) 9. 웨이퍼세정기 (Cleaning System) 10. 전자수명 측정장치 (Minority Carrier Lifetime Measurement System) 11. 웨이퍼 저항측정기 (Resistivity Tester for Wafer)
	다. 태양광모듈 제조설비	1. 라미네이터 (Laminator) 2. 유리세척기 (Glass Washer) 3. 태양전지성능측정기 (Cell Tester) 4. 스트링·테버장비 (String & Tabber) 5. 레이업머신 (Lay-up M/C) 6. 태양전지 또는 모듈성능측정기 (Simulator) 7. 프레이밍머신 (Framing M/C) 8. 큐어링 오븐 (Curing Oven) 9. 내구성 시험용 오븐 (Oven for Cycling Test) 10. 레이저 스크라이버 (Laser Scriber) 11. 박막 실리콘 태양전지용 화학기상증착장비 (Chemical Vapor Deposition) 12. 박막 실리콘 태양전지용 스퍼터링 장비(Sputter) 13. 박막 실리콘 태양전지용 글라스 반송 시스템 (Glass Transfer System) 14. 박막 실리콘 태양전지용 에지 트리머(Edge Trimmer) 15. 정션박스 어셈블리 시스템 (Junction Box Assembly System) 16. 빛조사 열화장치 (Light Soaking System)

2. 풍력설비	풍력발전용 발전기 제조설비	1. 풍력발전기 조립 대차(Travelling Car for Windturbine Assembly) 2. 동기발전기 시험기 (Synchronous Generator Tester) 3. 풍력발전기 조립 시험기 (Assembly Tester for Windturbine) 4. 로터허브 조립 시험기(Assembly Tester for Rotor Hub) 5. 레이저 트래커 (3D Measurement Machine) 6. 피치베어링 볼트조립 로봇 (Bolting Robot for Pitch Bearing)
3. 수력설비	소수력발전용 수차 및 발전기 제조설비	1. 유전율 측정시험기 (Insulating Diagnosis & Analysis System) 2. 부분방전 시험기 (Partial Discharge Detector)